कैथोडिक आर्क प्लाज्मा जमाव तकनीक का उपयोग करना। कैथोडिक आर्क प्लाज्मा जमाव एक अपेक्षाकृत नई पतली फिल्म जमाव तकनीक है जो कई मायनों में आयन चढ़ाना के समान है। इसके लाभ: उत्सर्जित कण प्रवाह में उच्च आयनीकरण दर, और इन आयनित आयनों में उच्च गतिज ऊर्जा (40-100eV) होती है।
आयन बीम जमाव के कई फायदे, जैसे बेहतर आसंजन, राज्यों का बढ़ा हुआ घनत्व और यौगिक फिल्म निर्माण के लिए उच्च प्रतिक्रियाशीलता, सभी कैथोडिक आर्क प्लाज्मा जमाव में परिलक्षित होते हैं। कैथोडिक आर्क प्लाज्मा जमाव के अपने अनूठे फायदे हैं, जैसे उच्च जमाव दर, अच्छी कोटिंग एकरूपता, कम सब्सट्रेट तापमान और आदर्श रासायनिक अनुपात के साथ यौगिकों या मिश्र धातुओं की आसान तैयारी के साथ अधिक जटिल आकार के सब्सट्रेट्स पर जमा करने में सक्षम होना। .
कैथोड सामग्री उच्च वर्तमान घनत्व के कारण वाष्पीकरण प्रक्रिया द्वारा वाष्पित हो जाती है, और परिणामी वाष्पीकरण इलेक्ट्रॉनों, आयनों, केंद्रीय गैस चरण परमाणुओं और कणों से बना होता है। कैथोड चाप बिंदु पर, सामग्री लगभग तुरंत आयनित हो जाती है। आयन कैथोड सतह के लगभग लंबवत दिशा में उत्सर्जित होते हैं। जब उच्च-ऊर्जा क्रोमियम आयन नाइट्रोजन से टकराते हैं, तो वे तुरंत रासायनिक प्रतिक्रिया से गुजरेंगे और गैसीय हो जाएंगे। क्रोमियम नाइट्राइड अणु.
